5轴激光加工法的高精密加工目标
发布时间：
2019-04-24 09:17
来源：
L.Y
未来科技将积极学习新技术，力争实现成本更低、精度更高的切削加工和模具零件加工。
1.简介
近年来，以MEMS/NEMS（Micro/Nano Electro-Mectical System）制作为代表，微米～纳米尺寸的材料加工技术迅速发展，其方法也涉及多方面。其中，激光直接加工法相对于各种加工材料，在能够比较廉价地形成任意的形状这一点上，与其他方法相比具有很大的优势。本研究开发了由纳秒脉冲激光器（Nd:YAG激光器第4高次谐波、Yb添加光纤激光器）和PC控制5轴台组成的高精度微细加工系统，以聚酰亚胺薄膜、不锈钢管、钠钙玻璃为对象，尝试制作了微功能元件。
2.供试材料及实验装置
加工对象为聚酰亚胺膜（膜厚：125μm）、钠钙玻璃（板厚：1mm）、SUS304不锈钢管（外径：550μm、内径300μm）。钠钙玻璃在加工前通过离子交换处理提高了激光加工特性。另外，不锈钢管在加工后进行了数十秒的电解蚀刻处理。加工中使用的激光振荡器的规格如表1所示，加工系统的结构如图1所示。另外，图2表示加工台的结构。通过（a）、（b）的配置，分别能够进行与机械加工中的铣削加工或车床加工类似的加工。
3.微功能元件的制作例
图3~图6表示本方法的微功能要素的制作例。
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